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藍(lán)景 TOC 分析儀(電導(dǎo)率法):ppb級精準(zhǔn)監(jiān)測,助力芯片良率提升

更新時間:2025-12-26      點擊次數(shù):261

半導(dǎo)體晶圓制造過程中,超純水的純度要求極-致嚴(yán)苛,水中痕量有機碳?xì)埩魰皆诰A表面,影響光刻、蝕刻等關(guān)鍵工藝,直接導(dǎo)致芯片良率下降。我們的TOC分析儀(電導(dǎo)率法),以ppb級高靈敏度檢測能力,專為半導(dǎo)體超純水監(jiān)測打造,精準(zhǔn)捕捉痕量有機碳,為半導(dǎo)體精密制造保駕護(hù)航。

 

制冷型氣體紅外熱成像儀_01.jpg

 

極-致靈敏度,捕捉痕量隱患。半導(dǎo)體超純水對TOC含量要求極-高,通常需控制在1ppb以下。我們的分析儀檢測范圍覆蓋0.001mg/L~1.600mg/L(1ppb~1600ppb),示值誤差僅±5%,重復(fù)性RSD≤2%,能精準(zhǔn)捕捉超純水中的痕量有機碳,遠(yuǎn)超行業(yè)監(jiān)測標(biāo)準(zhǔn)。采用雙波長高效氧化技術(shù),185nm+254nm紫外燈產(chǎn)生強氧化性自由基,確保有機物徹-底氧化,結(jié)合差值電導(dǎo)率檢測,徹-底消除無機碳干擾,每一組數(shù)據(jù)都精準(zhǔn)可靠。

 

制冷型氣體紅外熱成像儀_09.jpg

 

穩(wěn)定運行,適配連續(xù)生產(chǎn)需求。半導(dǎo)體生產(chǎn)為24小時連續(xù)化流程,超純水監(jiān)測容不得絲毫中斷。儀器支持長期連續(xù)在線運行,響應(yīng)時間<12min,能快速反饋水質(zhì)狀況,第-一時間發(fā)現(xiàn)水質(zhì)波動,避免因水質(zhì)問題導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷與晶圓報廢。無試劑設(shè)計,純物理光氧化原理,減少了因試劑更換、設(shè)備維護(hù)帶來的停機時間;長壽命石英反應(yīng)器與紫外燈設(shè)計,進(jìn)一步提升設(shè)備穩(wěn)定性,年維護(hù)成本大幅降低。

 

 

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